レーザプローブ光学式

本装置は可視光領域において最も高い分解能を得ることができる顕微鏡光学系にレーザオートフォーカス光学系が組み込まれています。
図において照射されたレーザ光はワーク表面で反射し、その光を対物レンズが捕らえAFセンサ上に結像させます。結像したレーザ光はフォーカス位置にある場合はAFセンサの中心に結像し、デフォーカス時には像が変化します。その情報をもとに対物レンズを移動し、フォーカス位置で座標値をリニアスケールから読み込みます。測定ワークはXYθの３軸、レーザプローブヘッドはAF,Z軸に移動機構を持つ設計のため、あらゆるワークの輪郭形状測定が可能になりました。
[特許取得済]