表面粗さ評価機能
接触式粗さ計と相関がとれる非接触式測定器の実力とその評価機能
NIST SRM 2074 粗さ標準片(Ra=0.972±0.025μm)
本装置では先に測定した輪郭形状データからカットオフ値を指定することにより、粗さ解析を行うことが可能です。(JIS B 0601:2001 準拠)
また、本装置は接触式粗さ計と相関がとれる非接触式測定器として注目を集めています。
下図はNIST SRM 2074 粗さ標準片の測定結果および測定形状の一部拡大図です。保証値Ra=0.972(±0.025)μmに対してRa=0.971μmと非常に高い相関を得ていることがわかります。