オプション機能として真円度測定／評価機能が用意されており、真円度0.1μm以下の真円度評価が可能です。本装置では高精度な非接触測定という特長を生かし、これまでは不可能であった微小ワークの真円度測定が可能になりました。
真円度測定機能
困難な微小サンプルの真円度もレーザプローブで容易に測定
この機能はオプションです。
測定例
φ20µmガラス球
φ20μmガラス球体評価サンプル（提供 埼玉大学）
真円度評価結果
直径：φ20.74µm
真円度：0.065µm
上にφ20μmのガラス球体の真円度評価結果を示します。
この真円度測定では「多角形測定＋スティッチング手法」を採用することにより、ワーク取り付け時の芯だし作業を行うことなく（微小ワークの芯だし作業は困難）、またθ軸のふれ成分を軽減することができます。（スティッチングとは多角形測定の各断面測定の領域が重複するように測定し、データを回転させた後で重複したデータを使用してデータをつなぎ合わせる手法です。）
φ100µm金線
φ100µm金線
真円度評価結果
直径：φ99.78µm
真円度：0.91µm
