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NHシリーズ  “非接触三次元測定装置”

どんなワークも非接触で測定

製品一覧

非接触三次元形状測定装置

NH-3Ns

優れた機能と高いコストパフォーマンスを兼備した標準システム

超精密非接触三次元測定装置

NH-3SPs

測定精度を極めた分解能1nmの高精度バージョン

マイクロレンズアレイ形状/光学特性評価装置

NH-3MAs

加工から結像性能まで総合評価

ノズル内径/深さ自動測定装置

NH-3NZ

非破壊で「ノズル径/深さ」を高精度自動測定!

非接触三次元形状測定装置

NH-4Ns

8インチウェハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体製品の品質管理に最適

大型非接触三次元形状測定装置

NH-5Ns

門型構造で精密金型など大型重量物の高精密測定を実現

産業機器

お問い合せ

電話 / FAX / フォームにて受け付けております。

オプション一覧

高NA非球面形状測定ユニット

60°以上の傾斜面のサブμm計測を可能にしたスティッチング計測技術

エレベーションステージ

ワークを非破壊で360°の輪郭形状/粗さ測定

ノマルスキー微分干渉観察

数Åの表面粗さやキズを観察可能

温度制御恒温槽

温度変化によるワークの変形を高精度測定

赤外透過観察

赤外顕微鏡として利用することが可能

ウェハホルダ

NH専用に設計されたエアーチャック式高精度ウェハホルダ

6インチ自動θステージ

測定の操作性が向上し、容易にワークのセッティングを行うことが可能

NHシリーズについて

測定原理

ワーク表面形状に左右されないオートフォーカス

特長

高精度と使いやすさを実現する非接触三次元形状測定の特長

測定/評価ソフト

NHソフトウェア

NH標準ソフト

万能な測定を可能にしたNHソフトウェア

三次元表面性状解析ソフト

Mitaka Map

ナノレベルまでの粗さ形状を抽出、最新のISO-25178規格に準拠

画像処理ソフトウェア

Mitaka Imager

豊富な画像計測・解析ソフトウェア

NHシリーズの測定例

指紋

やわらかい物でも非接触で高精度測定

ダイヤモンド砥粒

切れ刃形状、突起高さを測定

BGA

形状・高さ測定、コプラナリティ評価など機能充実

ウェハのそり、うねり形状

全体のそり、うねりを高速測定して多彩に表現

斜入射X線ミラー

大型ワークのサブミクロン測定が可能

研削面のビビリ模様

測定範囲から面領域粗さ演算も可能

ブレーキパッドの摩耗量測定

バリ/接触面/摩耗面の分割や負荷曲線を計測可能

ノズル測定

インクジェット、紡糸口金等の小径ノズルの穴径/深さ測定が可能に