NHシリーズのXYステージは、"高精度測定=しっかりとしたメカ"の概念を持って一台一台丹念に仕上げ、検査を施しているため、高精度な走り平行度を実現しています。
特長
高精度と使いやすさを実現する非接触三次元形状測定の特長
急斜面の断面形状測定を実現
ピンゲージの断面形状
レーザ光を用いた形状測定器の多くは、レーザ光線をミラー等でXYに走査し三次元形状測定を行っています。
この場合、光軸中心から放射状にレーザ光が当たらない部分(死角)が生じてしまいます。
一方NHシリーズでは、レーザ光はY軸方向に配置され光軸中心をフォーカスしているため、X方向の死角がなく、表面粗さを持っているワークに対し90°近い急斜面の測定が可能になります。
ステージ走査型(NH)
レーザ走査型
ゴースト、迷光に強いAF光学系
測定表面に強い反射面があるものやゴーストが出やすいワークなど、非接触では測定が困難とされてきたものでも高精度に測定できます。
それは周りの散乱光を効率よくカットするAF光学系とハイブリッドAFテクノロジが測定の信頼性を上げているからです。
高精度、高剛性XYステージが測定の基本
ステージ平面度±0.107μm(測定エリア5x5mm)
ステージ真直度±0.107μm(測定長150mm)