エレベーションステージ
本装置はZ軸の高さ測定用レーザオートフォーカス（AF）顕微鏡と高精度XYZステージにより構成されています。
図において顕微鏡鏡筒部に送り込まれたレーザ光は対物レンズを通り光軸中心の焦点面に向かって進み、ワーク表面に反射して再び対物レンズを通ってAFセンサ上に結像します。
ディフォーカス時レーザスポットはセンサ上で位置が変化するのでこの位置変化をセンサが捕らえ、AF駆動機構を用いて対物レンズをフォーカスポイントへ位置決めします。
自動XYステージでワークをスキャニングさせフォーカスした各点のXYZ値をコンピュータに取り込み形状測定を行います。
この方式はワーク表面の色や反射率の影響を受けることなく広範囲の高精度測定が可能です。
