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NH-3Ns  “非接触三次元形状測定装置”

優れた機能と高いコストパフォーマンスを兼備した標準システム

仕様

  • 測定範囲 (X, Y, Z) = 150 x 150 x 10mm
    オプションにて Z = 110mm
  • 分解能 (X, Y, Z) = 0.1 x 0.1 x 0.01μm

NH-3Nsが得意な測定例

ハンダ体積

三次元形状からハンダ体積・高さ測定

HDサスペンション

触れると変化するもののうねりやよじれ

ICパターン

広範囲に渡る微細な形状

指紋

やわらかい物でも非接触で高精度測定

髪の毛

微細な変化も捕らえて測定

ダイヤモンド砥粒

切れ刃形状、突起高さを測定

チップバイトの刃先

3D表示、断面寸法評価、粗さ測定が可能

BGA

形状・高さ測定、コプラナリティ評価など機能充実

ウェハのそり、うねり形状

全体のそり、うねりを高速測定して多彩に表現

可能な測定例

フレネルレンズ金型

回折格子

マイクロレンズアレイ

非球面レンズ金型表面

ハーフミラー蒸着ムラ

研削面のビビリ模様

ブレーキパッドの摩耗量測定

精密ギヤ歯面

オプションにて可能な測定例

エンドミル測定

精密マイクロパンチ

ドリル輪郭形状、刃先測定

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