- 測定困難であった小径ノズルの穴径、穴深さを非破壊測定
- レーザ光によるオートフォーカスと画像処理機能で高速／高精度測定
- 自動XYZステージにより複数穴の全自動測定が可能
NH-3NZ “ノズル内径／深さ自動測定装置”
非破壊で「ノズル径／深さ」を高精度自動測定！
従来は測定困難とされていたインクジェット、化学繊維紡糸口金、燃料噴射用等の小径ノズルの穴径／深さ測定において、レーザオートフォーカスと画像処理により高速・高精度な自動測定を可能にしました。
特長
仕様
- 可動範囲（X, Y, Z (AF)） = 100 x 100 x 10mm
- 分解能（X, Y, Z (AF)） = 0.1μm, 0.1μm, 0.01μm
- ノズル測定範囲：φ10μm - 1mm程度
- 穴深さ：Z = 10μm - 数mm
ノズルエッジの検出（画像処理AF）
ノズル断面図
対物レンズを変曲点が観察できる位置まで移動し、ノズルエッジ付近（Z方向）の画像を分析してノズルエッジを検出します。（画像処理AF機能）
ノズルエッジ部で透過照明が散乱することでできるリングを画像処理オートフォーカスで検出することにより、非破壊測定を実現。
測定対象例
- インクジェットノズル
- 自動車のインジェクションノズル（燃料噴射口）
- 化学繊維紡糸口金、他
NH-3NZが得意な測定例
可能な測定例
オプションにて可能な測定例
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