- 測定範囲 (X, Y, Z) = 150 x 150 x 10mm
オプションにて Z = 130mm - 分解能 (X, Y, Z) = 0.01 x 0.01 x 0.001μm
NH-3SPs “超精密非接触三次元測定装置”
測定精度を極めた分解能1nmの高精度バージョン
非球面レンズ、導光板、金型などの形状測定や検査に最適です。
仕様
測定応用例
- 非球面レンズ測定、形状評価
- 金型の測定、粗さ測定
- マイクロレンズ測定、ピッチ計測
- 液晶導光板の形状、ピッチ
- ウエハパターンの寸法測定
- 表面のキズ、欠陥測定
- MEMS関連
NH-3SPsが得意な測定例
可能な測定例
オプションにて可能な測定例
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