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NH-4N  “非接触三次元形状測定装置”

8インチウェハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体製品の品質管理に最適

仕様

  • 測定範囲 (X, Y, Z) = 250 x 200 x 10mm
    オプションにて Z = 110mm
  • 分解能 (X, Y, Z) = 0.1 x 0.1 x 0.01μm

NH-4Nが得意な測定例

ウェハのそり、うねり形状

全体のそり、うねりを高速測定して多彩に表現

可能な測定例

オプションにて可能な測定例

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