English

NH-4Ns  “非接触三次元形状測定装置”

8インチウェハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体製品の品質管理に最適

仕様

  • 測定範囲 (X, Y, Z) = 250 x 200 x 10mm
    オプションにて Z = 110mm
  • 分解能 (X, Y, Z) = 0.1 x 0.1 x 0.01μm

NH-4Nsが得意な測定例

ウェハのそり、うねり形状

全体のそり、うねりを高速測定して多彩に表現

可能な測定例

フレネルレンズ金型

回折格子

ハンダ体積

マイクロレンズアレイ

HDサスペンション

ICパターン

非球面レンズ金型表面

指紋

髪の毛

ハーフミラー蒸着ムラ

ダイヤモンド砥粒

チップバイトの刃先

BGA

研削面のビビリ模様

ブレーキパッドの摩耗量測定

精密ギヤ歯面

オプションにて可能な測定例

エンドミル測定

精密マイクロパンチ

ドリル輪郭形状、刃先測定

この製品へのお問い合わせ

この製品へのお問い合わせは、電話 / FAX / お問い合わせフォームにて受け付けております。
電話：0422-49-1491
FAX：0422-49-1117
お問い合わせフォームはこちら