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NH-5Ns  “大型非接触三次元形状測定装置”

門型構造で精密金型など大型重量物の高精密測定を実現

仕様

  • 測定範囲 (X, Y, Z) = 300 x 400 x 130mm
  • 分解能　(X, Y, Z) = 0.1 x 0.1 x 0.01μm

NH-5Nsが得意な測定例

斜入射X線ミラー

大型ワークのサブミクロン測定が可能

可能な測定例

フレネルレンズ金型

回折格子

ハンダ体積

マイクロレンズアレイ

HDサスペンション

ICパターン

非球面レンズ金型表面

指紋

髪の毛

ハーフミラー蒸着ムラ

ダイヤモンド砥粒

チップバイトの刃先

BGA

ウェハのそり、うねり形状

研削面のビビリ模様

ブレーキパッドの摩耗量測定

精密ギヤ歯面

オプションにて可能な測定例

エンドミル測定

精密マイクロパンチ

ドリル輪郭形状、刃先測定

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