ノマルスキー微分干渉観察

数Åの表面粗さやキズを観察可能

この機能はオプションです。

ノマルスキー微分干渉光学系をNHの顕微鏡部に搭載することにより数Åの表面粗さやキズを観察可能ができます。
この光学系は通常の明視野光学系では観察できない数Åの表面粗さやキズを視覚的に捉え、レーザープローブを用いてその場で定量的な粗さ、段差測定を行うことができます。