NHの載物台に高精度温度制御恒温槽(ヒーターステージ/ホットステージ)を組み込むことにより、温度によるワークの形状変化をμmレベルで定量的に捉えることができます。精密プレス加工部品の熱歪み測定や電子部品の熱環境試験など、さまざまな研究分野で活躍しています。
セラミックヒータを使用して直接熱を伝えるヒータステージや、雰囲気温度を調節できるホットステージなどをラインナップしています。
温度制御恒温槽
温度変化によるワークの変形を高精度測定
この機能はオプションです。
ヒータステージ(ヒータ加熱式)
ホットステージ(エアー加熱式)
応用例
熱による基板のそり
高温下での実装部品の寸法測定