赤外光学系および赤外カメラを組み込むことにより、赤外顕微鏡として利用することが可能になります。
例えば、光通信用送受光素子（LD、PDチップ）等をボンディングした後のXY方向のずれ量を赤外顕微鏡と画像処理を使用して測定することができます。またレーザプローブにてボンディング後のLD素子の形状（そり、傾き等）を測定することも可能です。