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ウェハホルダ

NH専用に設計されたエアーチャック式高精度ウェハホルダ

この機能はオプションです。

NH専用に設計されたエアーチャック式高精度ウェハホルダです。
吸引管が固定部に配置されているため、ウェハを回転させても配管が邪魔になりません。