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ウェハホルダ
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NH専用に設計されたエアーチャック式高精度ウェハホルダ
この機能はオプションです。
NH専用に設計されたエアーチャック式高精度ウェハホルダです。吸引管が固定部に配置されているため、ウェハを回転させても配管が邪魔になりません。