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6インチ自動θステージ

測定の操作性が向上し、容易にワークのセッティングを行うことが可能

自動θステージを組み込むことにより、測定の操作性が向上し、容易にワークのセッティングを行うことができます。

主な特長

  • ワークの自動傾き補正
  • 任意の角度での断面測定(X軸スキャン)など