±30°以上の角度に対する形状測定方法

NHシリーズは傾斜角±30°以内で±0.1μm以下の絶対精度測定が可能です。それ以上の傾斜角を持つ高NA非球面レンズの測定のために右図のようなスティッチング計測技術を採用しました。

通常のR-θ測定では回転精度と回転中心位置が測定誤差にダイレクトに影響するためサブμmの非球面評価は困難でしたが、本方式はこれらの問題を解決し、±90°までの高精度測定を可能となります。