- 可動範囲（X, Y, Z）= 60 x 60 x 60mm
- X-Y軸スケール分解能 = 0.1μm
- Z軸スケール分解能 = 0.01μm
- レーザスポット径 = 1μm (100倍時)
- レーザ：λ = 635nm出力 1mW以下
PF-60 “非接触表面性状測定装置”
スキャンAF機能により広範囲・高速測定を実現！
インデックス測定の50倍速を可能にするスキャンAF機能と高精度自動XYステージにより、数十mmオーダーの広範囲をサブμmレベルの測定精度で高速に測定する事を実現しました。断面曲線では検出できない精密加工部品の反り測定、成型品の形状不良、トライボロジーにおける摩耗量や傷の定量評価に最適です。
特長
スキャンAFヘッド部
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広範囲・高精度測定
（測定範囲：XYZ=60x60x10mm 分解能：XY=0.1μm、Z=0.01μm） - スキャンAFによる高速測定
- 粗さ測定にて国際基準と高い相関性
- 国際規格（ISO）に準拠した断面・面領域の粗さ／形状評価ソフトMitakaMapを標準搭載
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小型システムの為、卓上での運用が可能
（設置サイズ：400mm×400mm） - 装置重量：31kg
仕様
PF-60が得意な測定例
可能な測定例
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