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ウェハのそり、うねり形状
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全体のそり、うねりを高速測定して多彩に表現
非接触三次元形状測定装置
優れた機能と高いコストパフォーマンスを兼備した標準システム
8インチウェハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体製品の品質管理に最適
非接触表面性状測定装置
スキャンAF機能により広範囲・高速測定を実現!