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研削面のビビリ模様
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測定範囲から面領域粗さ演算も可能
精密ガイドレール
3D測定 測定範囲:X=10mm Y=10mm 面領域粗さ演算結果 表面の最大高さ:Sz=1.54μm 表面の算術平均高さ:Sa=0.161μm
非接触表面性状測定装置
スキャンAF機能により広範囲・高速測定を実現!