超精密加工工具(ダイヤモンドRバイト)
一般的な投影型の工具測定機では測定が困難な工具の刃先形状測定が可能
輪郭形状測定
測定の様子
ダイヤモンドRバイトの測定結果
R寸法:1.6588mm
輪郭度偏差:最大偏差 Pt=0.298μm
自乗平均偏差 Pq=0.044µm
エッジ部から5µm下を測定(対物レンズ100倍)
刃先測定
頂点のレーザスポット(レーザカットフィルタあり)
測定結果刃先角度:80.1°
一般的な投影型の工具測定機では測定が困難な工具の刃先形状測定が可能
測定の様子
ダイヤモンドRバイトの測定結果
R寸法:1.6588mm
輪郭度偏差:最大偏差 Pt=0.298μm
自乗平均偏差 Pq=0.044µm
エッジ部から5µm下を測定(対物レンズ100倍)
頂点のレーザスポット(レーザカットフィルタあり)
測定結果刃先角度:80.1°