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回折格子

サブミクロンの溝も高速・高精度測定

回折格子を得意とする機器 産業機器の仕様一覧表

超精密非接触三次元測定装置

NH-3SPs

測定精度を極めた分解能1nmの高精度バージョン

測定可能な機器

NH-3Ns

NH-3MAs

NH-3NZ

NH-4Ns

NH-5Ns

PF-60

MLP-3