- 様々な透明溶液中でのワーク表面形状の計測が可能
- ポイントオートフォーカスによる高精度な形状測定
- 0.01μmの高さ分解能で数mmの範囲をダイレクト測定
- 4mmのワーキングディスタンスがあり、電極プローブ等の取り付けが可能
- 広範囲な測定範囲（XY=40mm×40mm）
- 極小レーザスポット（2μm）による高分解能測定（50倍時）
- マクロ機能により同一箇所の連続測定が可能
- 内蔵CCDカメラにより測定点の観察が可能 （測定箇所の画像保存も可能）
- 通常対物レンズの使用により、大気中での形状測定が可能
- 小型システムの為、卓上での運用が可能 （設置サイズ 300mm×450mm）
MP-3f “液浸三次元形状測定装置”
水中や溶液中での非接触形状測定が可能！
本装置は液中観察用コレットを用いて、溶液中のワーク表面を観察、形状測定することが出来る装置です。 従来測定困難であった溶液中での表面形状の変化を、サブミクロンの精度で定量的に捉えることができます。
特長
仕様
測定風景
- 可動範囲（X, Y, Z）= 40 x 40 x 40mm
- X-Y軸表示分解能 = 0.1μm
- Z軸表示分解能 = 0.01μm
- Z軸測定精度：(1+20L/1000) μm L = 測定長(mm)
- 測定再現性：σ = 0.03μm
- レーザスポット径 = 2μm (50倍時)
- レーザ：λ = 635nm出力 1mw以下
- ワーキングディスタンス = 4mm (50倍時)
- 付属ソフトウエア：形状計測・評価ソフト
測定原理
対物レンズを上下させ測定表面にピントを合わせて高さデータを得る「ポイントオートフォーカス検出法」［ISO-25178-605］と、自動XYステージの組み合わせにより、各点のXYZ値をコンピュータに取り込み形状測定を行います。
本装置は補正対物レンズの下に液中観察用コレットを配置し、溶液中のワークをレーザプローブで高精度に形状測定することができます。また、液中観察用コレットに電極プローブを取り付けることにより、形状と測定点近傍のイオン分布の同時計測が可能です。
測定例：鉄表面の腐食経過の形状測定
オプションソフトウエア「Mitaka Map（三次元表面性状解析ソフトウエア）」により、表面形状の変化をアニメーション化できます。
腐食進行時の形状(高さ)変化のアニメーション(7MB)
画像をクリックすると動画をご覧になれます。
