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MP-3f  “液浸三次元形状測定装置”

水中や溶液中での非接触形状測定が可能!

本装置は液中観察用コレットを用いて、溶液中のワーク表面を観察、形状測定することが出来る装置です。 従来測定困難であった溶液中での表面形状の変化を、サブミクロンの精度で定量的に捉えることができます。

特長

  • 様々な透明溶液中でのワーク表面形状の計測が可能
  • ポイントオートフォーカスによる高精度な形状測定
  • 0.01μmの高さ分解能で数mmの範囲をダイレクト測定
  • 4mmのワーキングディスタンスがあり、電極プローブ等の取り付けが可能
  • 広範囲な測定範囲(XY=40mm×40mm)
  • 極小レーザスポット(2μm)による高分解能測定(50倍時)
  • マクロ機能により同一箇所の連続測定が可能
  • 内蔵CCDカメラにより測定点の観察が可能 (測定箇所の画像保存も可能)
  • 通常対物レンズの使用により、大気中での形状測定が可能
  • 小型システムの為、卓上での運用が可能 (設置サイズ 300mm×450mm)

仕様

測定風景

  • 可動範囲(X, Y, Z)= 40 x 40 x 40mm
  • X-Y軸表示分解能 = 0.1μm
  • Z軸表示分解能 = 0.01μm
  • Z軸測定精度:(1+20L/1000) μm L = 測定長(mm)
  • 測定再現性:σ = 0.03μm
  • レーザスポット径 = 2μm (50倍時)
  • レーザ:λ = 635nm出力 1mw以下
  • ワーキングディスタンス = 4mm (50倍時)
  • 付属ソフトウエア:形状計測・評価ソフト

測定原理

対物レンズを上下させ測定表面にピントを合わせて高さデータを得る「ポイントオートフォーカス検出法」[ISO-25178-605]と、自動XYステージの組み合わせにより、各点のXYZ値をコンピュータに取り込み形状測定を行います。
 

本装置は補正対物レンズの下に液中観察用コレットを配置し、溶液中のワークをレーザプローブで高精度に形状測定することができます。また、液中観察用コレットに電極プローブを取り付けることにより、形状と測定点近傍のイオン分布の同時計測が可能です。

測定例:鉄表面の腐食経過の形状測定

オプションソフトウエア「Mitaka Map(三次元表面性状解析ソフトウエア)」により、表面形状の変化をアニメーション化できます。

腐食進行時の形状(高さ)変化のアニメーション(7MB)
画像をクリックすると動画をご覧になれます。