測定機器の歩み

1990・93

ディスクテスター
（ハードディスクの試験装置）

三次元測定装置
AMS-5販売開始

1994・96

InterOpto展示会

三次元測定装置　NH-3販売開始

2000

PDI検体光学系

三次元測定器　NH-3N販売開始

三次元測定装置　NH-3SP販売開始

EUVL露光装置

2002・04

断面粗さ測定装置
NH-120S販売開始

マイクロレンズアレイ形状／光学特性評価装置　NH-3MA販売開始

2007・09

マイクロ輪郭形状測定器
MLP-2販売開始

液浸形状測定装置
MP-3f販売開始

2010・14

表面性状測定装置
PF-60販売開始

NHシリーズに「Scan AF機能」を搭載

2015

全周三次元測定装置
MLP-3販売開始

FAMICシリーズ “高精度チップボンダ”

FAMIC-5R  “光素子実装装置”
倒立光学系搭載で吸着チップを高精度実装

FAMIC-5M  “高出力LDチップボンダ”
チップ側面で高精度に位置決め

FAMIC-5  “全自動マイクロチップボンダ”
0.3mmから数mmのチップをサブミクロン実装

FAMIC-3  “全自動マイクロチップボンダ”
0.3mmから数mmのチップをサブミクロン実装