MA Series

非接触三次元測定機

マイクロレンズアレイ(MLA)
形状光学特性評価装置

NHシリーズにおける基本的な形状測定機能がすべて搭載されており、レンズや金型の断面形状を測定し、曲率や中心座標を専用ソフトウェアで一括測定できます

特長

高精度画像処理によるレンズの光学特性評価が可能

評価項目 : 有効焦点距離 / バックフォーカス / 透過率 / 焦点位置 / 焦点深度 / MTF

多点に及ぶマイクロレンズアレイ(MLA)も一括同時測定

下図の測定光学系により平行光の集光像（ピンホールスリットの像）を顕微鏡レンズで拡大し、CCDカメラで画像を取り込みます。その画像に対して画像処理を行うことによりレンズの光学特性を評価します。
測定光学系
多点に及ぶマイクロレンズアレイ(MLA)も 一括同時測定

マトリックス作成ソフト

専用のマトリックス測定ソフトによって配列パターンを記憶し、スムーズに自動測定ができます。
微細化、大面積化が進むMLAの研究開発、品質管理に最適です。

ノマルスキー微分干渉観察

NHの顕微鏡部にはノマルスキー微分干渉光学系を搭載することができます。
この光学系は通常の明視野光学系では観察できない数十Åの表面粗さやキズを視覚的に捉え、レーザプローブを用いてその場で定量的な粗さ・段差測定を行うことができます。
ノマルスキー光学系を搭載したNH-3Ns
ノマルスキー法学系を組込んだ
NHシリーズの光路図

測定機能

レンズ形状測定
レーザプローブによる測定

・各レンズ表面の曲率半径、中心座標値
・真円度
・頂点の高さ、XY座標
・断面・三次元形状測定、表面粗さ測定

光学特性評価
画像処理による測定

・有効焦点距離
・バックフォーカス、MLAの実効焦点距離
・各レンズの集光位置、位置ズレ
・各レンズの集光スポットサイズ
・透過率
・焦点面での結像評価（コマ収差、歪曲収差など）
・焦点深度（オプション）
・MTF測定（オプション）

仕様

可動範囲(X, Y, Z, AF)

100, 100, 100, 10mm

X-Y軸スケール分解能

0.1μm

AF軸スケール分解能

0.01μm

測定原理

ポイントオートフォーカス法 ISO 25178-605

レーザ

λ = 635nm出力 1mW以下

得意な測定例

マイクロレンズアレイ

可能な測定例

フレネルレンズ金型

回折格子

ハンダ体積

HDサスペンション

ICパターン

非球面レンズ金型表面

指紋

髪の毛

ハーフミラー蒸着ムラ

ダイヤモンド砥粒

チップバイトの刃先

BGA

ウェハのそり、うねり形状

研削面のビビリ模様

ブレーキパッドの摩耗量測定

精密ギヤ歯面

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